氮化钽N5Ta3靶材 磁控溅射靶材 电子束镀膜蒸发料

氮化钽(N5Ta3)靶材 磁控溅射靶材 电子束镀膜蒸发料 
【参数说明】
支持靶材定制，请提供靶材产品的元素、比例（重量比或原子比）、规格，我们会尽快为您报价！！ 
【产品介绍】
ε氮化钽为黑色六方结晶。相对密度13.4；熔点3090℃；显微硬度1100kg/m2；热导率9.54W/(m·K)，电阻率128μΩ·cm。δ氮化钽为黄绿色结晶，属氯化钠型结晶，相对密度15.6。晶格常数a=0.4336nm，c=0.4150nm，熔点2950℃，显微硬度3200kg/mm2，转化点温度17.8K。不溶于水、酸，微溶于王水，溶于氢氧化钾并分解释放出氨。加热至2000℃即释放出氮气。
中文名	氮化钽	熔点	3090℃
化学式	N5Ta3	沸点	未确定
分子量	612.8771	密度	13.4g/cm3

【关于我们】
服务项目：靶材成份比例、规格、纯度均可按需定制。科研单位货到付款，质量保证，售后**！
产品附件：发货时产品附带装箱单/质检单/产品为真空包装
适用仪器：多种型号磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发设备 
质量控制：严格控制生产工艺，采用辉光放电质谱法GDMS或ICP光谱法等多种检测手段，分析杂质元素含量保证材料的高纯度与细小晶粒度； 
加工流程：熔炼→提纯→锻造→机加工→检测→包装出库
陶瓷化合物靶材本身质脆且导热性差，连续长时间溅射易发生靶裂情况，绑定背靶后，可提高化合物靶材的导热性能，提高靶材的使用寿命。我们强烈建议您，选购陶瓷化合物靶材一定要绑定铜背靶！
我公司采用高纯铟作为焊料，铟焊厚度约为0.2mm，高纯无氧铜作为背靶。
注  ：高纯铟的熔点约为156℃，靶材工作温度**过熔点会导致铟熔化！绑定背靶不影响靶材的正常使用！ 
建议：陶瓷脆性靶材、烧结靶材，高功率下溅射易碎，建议溅射功率不**过3W/cm2。
我公司主营金属靶材、陶瓷靶材、合金靶材，欢迎您的垂询。